氧氮氫分析儀主要分析原理是：分析樣品在惰性氣流存在下于石墨坩堝中加熱熔融，其中脈沖爐溫度可自由設定，并通過一個非接觸式的光學溫度傳感器進行實時監控，用于實現樣品的*分解，反應所生成的CO、H2和N2被帶入到具有高穩定性和靈敏度的檢測系統進行檢測。儀器校準過程既可采用標準參考物質也可通過選配的氣體校準單元來進行，除此之外，儀器可選配自動清掃裝置和坩堝自動加載系統以及用于擴散氫測定的外部紅外爐。對于CO的檢測采用的是非色散性紅外檢測器，對于N2和H2的檢測則采用熱導檢測器。